ליתוגרפיה-ArF

למה 28nm

3nm מתקדם בלתי אפשרי ללא EUV המונופול של ASML — בלתי אפשרי בחלל. 28nm אפשרי עם ArF בלבד, ו-Google TPU v1 הוכיח 92 TOPS בפועל. סיליקון יוצא מהסיגים, והחלל עצמו הוא חדר נקי.