ArFリソグラフィ

なぜ28nmなのか

最先端3nmはASML独占のEUVなしには作れない——宇宙では不可能。28nmはArFだけで可能で、Google TPU v1が実測92 TOPSを証明した。スラグからシリコンが出て、宇宙そのものがクリーンルームだ。